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本发明涉及硅片生产技术领域，且公开了一种硅片清洗装置及其清洗方法，解决了水流不能冲洗硅片与硅片承载花篮相接触的位置，硅片清洗不够全面的问题，其包括清洗箱，所述清洗箱的底部固定连接有底座，清洗箱内固定连接有控制箱，控制箱上贯穿有若干第一转轴，...
该专利属于博也新材料（佛山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过博也新材料（佛山）有限公司授权不得商用。

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