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一种红外波段二氧化钒光开关制造技术
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下载一种红外波段二氧化钒光开关的技术资料
文档序号:39320130
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一种红外波段二氧化钒光开关,其特征在于:在基底层镀上一层均匀金属膜层,金属膜层上镀上一层二氧化钒,再在二氧化钒层上用曝光和显影技术制作周期性类T型金属纳米棒结构,即得到红外波段的二氧化钒光开关。利用二氧化钒的相变特性,通过对二氧化钒膜层通电...
该专利属于上海理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海理工大学授权不得商用。
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