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提供了一种通过溅射沉积在工件上沉积层的方法、一种涂覆机和一种用于根据该方法控制涂覆机的处理器。该方法包括在预先确定的溅射条件下在工件上同时提供金属和反应性物质的溅射沉积以形成层，从而在该工件上提供包含金属化合物的沉积层。随后照射该沉积层并测...
该专利属于梭莱先进镀膜工业公司所有，仅供学习研究参考，未经过梭莱先进镀膜工业公司授权不得商用。

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