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本发明提供了一种低模量亚稳β钛合金薄膜材料的设计和制备方法。通过亚稳β钛合金成分设计原理，确定钛合金中的元素组分及成分；结合相图计算和第一性原理计算方法分别判断和筛选低模量的亚稳β钛合金；采用磁控溅射方法，设计相关工艺，制备指定成分的钛合金...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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