下载一种晶圆翘曲调整结构及其制备方法的技术资料

文档序号:39311942

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本公开实施例公开了一种晶圆翘曲调整结构及其制备方法,其中,所述晶圆翘曲调整结构,包括:晶圆,所述晶圆包括相对设置的上表面和下表面,所述上表面用于形成半导体器件;位于所述晶圆上表面或下表面上的介质层;所述介质层包括第一区域和/或第二区域,且还...
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