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本发明提供了一种晶圆下置式旋转清洗设备及方法，包括腔体、晶圆框架及罩体，腔体设有可转动的环内衬及可摆动的喷液摆臂，喷液摆臂设有至少一个可喷出溶剂的喷头；晶圆框架由胶膜将一晶圆黏固于环内区域，晶圆框架设置于环内衬上且让晶圆朝下；罩体内部由中心...
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