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一种铟柱的制备方法及红外探测器阵列互连电路技术
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下载一种铟柱的制备方法及红外探测器阵列互连电路的技术资料
文档序号:39309103
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本发明公开了一种铟柱的制备方法及红外探测器阵列互连电路,应用于红外探测器技术领域,包括:在读出电路表面对应焊盘的位置设置UBM层;在读出电路的表面设置光刻胶,并在光刻胶中对应UBM层的位置形成通孔暴露UBM层;在通孔内依次设置多层铟层,并在...
该专利属于北京智创芯源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京智创芯源科技有限公司授权不得商用。
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