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本发明提供了工作台清扫器、描绘装置以及基板处理装置。本发明的工作台清扫器通过向工作台清扫器的具有贯通孔（１１）的板（１２）和工作台（１０）之间送入气体，将板（１２）和工作台（１０）之间的间隙保持恒定，通过使板（１２）在该状态下移动，利用板（...
该专利属于ＨＯＹＡ株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过ＨＯＹＡ株式会社授权不得商用。

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