温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种硅片承载台及承载装置，硅片承载台包括：支撑底盘；承片台，承片台包括支撑底托和吸附板，其中：支撑底托的底部依次由向内倾斜的倾斜面、转折面及水平设置的接触底面依次衔接构成，其中，接触底面贴合在支撑底盘的上端面上，且，接触底面的周...
该专利属于北京中电科电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中电科电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。