专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
上海积塔半导体有限公司
>
图形化方法及图形化的半导体结构技术
>技术资料下载
下载图形化方法及图形化的半导体结构的技术资料
文档序号:39300945
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种图形化方法及图形化的半导体结构。所述图形化方法包括如下步骤:提供一衬底,所述衬底表面具有外延生长的氧化硅层;在所述氧化硅层表面形成氮化硅层;采用相对于外延生长的氧化硅层具有选择性的腐蚀工艺对所述氮化硅层进行图形化;以图形化的氮...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。