下载图形化方法及图形化的半导体结构的技术资料

文档序号:39300945

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本发明提供一种图形化方法及图形化的半导体结构。所述图形化方法包括如下步骤:提供一衬底,所述衬底表面具有外延生长的氧化硅层;在所述氧化硅层表面形成氮化硅层;采用相对于外延生长的氧化硅层具有选择性的腐蚀工艺对所述氮化硅层进行图形化;以图形化的氮...
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