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提供一种参数确定装置、参数确定方法以及参数确定程序，以短时间且低成本地计算出用于外延生长装置的一个或多个参数的最佳值。具备：输入部，接受一个或多个参数的每一个的多个值、外延膜的位置数据以及由特性测量装置对成膜的外延膜进行测量的特性数据；运算...
该专利属于爱必克股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱必克股份有限公司授权不得商用。

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