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本发明提供一种光学增透膜的制备方法,包括:提供衬底层;在衬底层的一侧表面进行增透膜子膜层循环;增透膜子膜层包括:使用原子层沉积的方式,形成第一膜;使用原子层沉积的方式并在形成所述第一膜的同等温度下,在所述第一膜背离衬底层的一侧形成第二膜;所...该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种光学增透膜的制备方法,包括:提供衬底层;在衬底层的一侧表面进行增透膜子膜层循环;增透膜子膜层包括:使用原子层沉积的方式,形成第一膜;使用原子层沉积的方式并在形成所述第一膜的同等温度下,在所述第一膜背离衬底层的一侧形成第二膜;所...