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本发明公开了一种发声单元的制造方法及发声单元、扬声器，涉及微电子机械技术领域，以解决现有发声单元使用性能低，以及制造成本高的技术问题。发声单元的制造方法包括：提供第一基底和第二基底，第一基底的一侧设有呈阵列排布的孔洞，孔洞的深度小于第一电极...
该专利属于地球山（苏州）微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过地球山（苏州）微电子科技有限公司授权不得商用。

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