下载双异质结双极晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:39295932

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本发明提供一种双异质结双极晶体管及其制备方法。该方法包括:在待制备的圆片上制作发射区电极,并基于发射区电极对圆片中的发射区进行湿法腐蚀,以使圆片中发射区和基区之间的第一分界层暴露;在第一分界层的上表面制作基区电极,并基于基区电极,依次对第一...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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