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本申请涉及硅化物辅助烧结制备氮化硅陶瓷基板的方法，以及该方法制备的氮化硅陶瓷。该氮化硅陶瓷基板照摩尔百分含量计算，包括如下组分：氮化硅：89mol％，烧结助剂：3～11mol％。本发明通过使用硅化镁替代传统的氧化镁，高效优化了氮化硅陶瓷的热...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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