下载半导体结构的制备方法和半导体结构的技术资料

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本公开提供一种半导体结构的制备方法和半导体结构,半导体结构的制备方法包括提供衬底,衬底包括间隔设置的多个有源区,衬底中具有间隔排布的多个字线沟槽,字线沟槽暴露有源区;形成栅介质层、第一导电层和第二导电层,栅介质层覆盖字线沟槽的槽壁,第一导电...
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