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本发明涉及光刻模拟领域,特别是涉及一种快速计算光刻掩膜图像的方法、装置、设备及计算机可读存储介质,通过接收目标版图;将所述目标版图输入神经网络模型,得到输出图像;所述神经网络模型在训练过程中的损失函数为训练输出图像与标准对照图像的差异的梯度...该专利属于华芯程(杭州)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华芯程(杭州)科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及光刻模拟领域,特别是涉及一种快速计算光刻掩膜图像的方法、装置、设备及计算机可读存储介质,通过接收目标版图;将所述目标版图输入神经网络模型,得到输出图像;所述神经网络模型在训练过程中的损失函数为训练输出图像与标准对照图像的差异的梯度...