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本发明提供一种晶圆表面特征量测方法、装置、设备及可读存储介质。该方法包括：对晶圆表面的点云数据进行二维栅格化处理，得到二维栅格图；根据二维栅格图中每个栅格对应的点云数据计算得到每个栅格的像素值；基于二维栅格图中每个栅格对应的像素值生成二维映...
该专利属于武汉精测电子集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉精测电子集团股份有限公司授权不得商用。

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