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本发明涉及一种钽靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)混合原料钽粉，熔炼得到钽锭；(2)步骤(1)所得钽锭经过氢化处理，得到氢化钽粉；(3)步骤(2)所得氢化钽粉依次经冷等静压处理与热压烧结，得到钽坯；(4)步骤(3)所得...
该专利属于宁波江丰电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波江丰电子材料股份有限公司授权不得商用。

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