下载集成功率器件及其制备方法的技术资料

文档序号:39293021

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本发明提供一种集成功率器件及其制作方法,其包括半导体结构;介质层,介质层具有平坦表面;第一金属互联层,包括电容底电极和与第一导电孔连接的第一布线层;电容保护环;电容介质层,电容介质层中形成有分别连接第一布线层的第二导电孔;第二金属互联层,包...
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