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本发明涉及薄膜制备技术领域，公开一种基板装载治具及镀膜装置。其中基板装载治具包括母装载台和子装载台，子装载台包括边框和设置于边框上的放置面，边框置于母装载台上，边框与母装载台可拆卸连接，放置面设置有预设曲度，放置面用于承载与其曲度适配的基板...
该专利属于光驰科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰科技（上海）有限公司授权不得商用。

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