一种基板装载治具及镀膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及薄膜制备技术领域，公开一种基板装载治具及镀膜装置。其中基板装载治具包括母装载台和子装载台，子装载台包括边框和设置于边框上的放置面，边框置于母装载台上，边框与母装载台可拆卸连接，放置面设置有预设曲度，放置面用于承载与其曲度适配的基板。本发明专利技术子装载台的放置面设置有预设曲度，用于放置与其曲度适配的基板，进而用于对具有预设曲度的基板的镀膜，而不会改变靶基距，也不会对镀膜的工艺造成影响；子装载台的边框与母装载台可拆卸连接，通过在母装载台更换具有不同预设曲度的子装载台，实现一个母装载台对不同曲度的基板的兼容装载，更大化的利用了母装载台的价值，有效地节省了基板装载治具的成本。有效地节省了基板装载治具的成本。有效地节省了基板装载治具的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种基板装载治具及镀膜装置


[0001]本专利技术涉及薄膜制备
，尤其涉及一种基板装载治具及镀膜装置。

技术介绍

[0002]近年来，智能手机、平板电脑等电子产品市场蓬勃发展；相应地，这些智能终端的品质提升也对此类产品所需触摸屏的镀膜技术提出了更高要求。提高镀膜效率和镀膜质量、扩大镀膜适用范围是真空镀膜
追求的目标。在这其中，如何能够兼容大小不同的基板而不影响其横向均匀性是镀膜技术开发重点之一。
[0003]目前，自动化磁控溅射镀膜机的应用已日益广泛。对于基板镀膜，两个主要的技术指标在于膜厚均匀性和产能。在镀膜行业，尤其在车载市场，因车载玻璃尺寸非常大，为匹配玻璃而制作的玻璃装载治具也需要匹配加工。另外，由于车载玻璃具有一定曲度，且不同车型的车载玻璃曲度不同，导致需要具有不同曲度的玻璃装载治具，进一步导致成本的增加。所以对于客户来说，如何最大化的利用设备且同时节省成本也是需要考虑的指标之一。
[0004]所以，亟需一种基板装载治具及镀膜装置，以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]基于以上所述，本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板装载治具，其特征在于，包括：母装载台(1)；子装载台(2)，包括边框(21)和设置于所述边框(21)上的放置面(22)，所述边框(21)置于所述母装载台(1)上，所述边框(21)与所述母装载台(1)可拆卸连接，所述放置面(22)设置有预设曲度，所述放置面(22)用于承载与其曲度适配的基板(100)。2.根据权利要求1所述的基板装载治具，其特征在于，所述子装载台(2)的内侧设置有装载块(23)，所述基板(100)与所述装载块(23)抵接。3.根据权利要求2所述的基板装载治具，其特征在于，所述装载块(23)上设置有装载凹槽，所述基板(100)置于所述装载凹槽内。4.根据权利要求2所述的基板装载治具，其特征在于，所述装载块(23)设置有四块，四块所述装载块(23)分别两两相对设置，所述基板(100)的四边均与所述装载块(23)抵接。5.根据权利要求1所述的基板装载治具，其特征在于，所述子装载台(2)设置有夹持组件(24)，所述夹持组件(24)与所述基板(100)的远离所述放置面(22)的一侧表面抵接，以固定所述基板(100)。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨启忠，戴晓东，马淑莹，卢鹏，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：