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本实用新型公开了一种晶圆非接触式正反面清洗装置，包括托架式机械臂、翻转机构和非接触清洗机构；所述托架式机械臂前端设有多个托举晶圆外边沿的台阶柱，在翻转机构和非接触清洗机构之间传递晶圆；所述翻转机构包括翻转座以及驱使翻转座180
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