下载贴合装置的技术资料

文档序号:39291311

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本实用新型属于芯片生产技术领域,公开了一种贴合装置,包括支架、上贴合机构、下贴合机构及调平机构;上贴合机构安装在支架上,上贴合机构用于吸附第一工件;下贴合机构与上贴合机构相对设置,下贴合机构能够承载第二工件并调整第二工件的相对位置,且下贴合...
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