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本实用新型公开了一种抛光设备，抛光设备包括：基板；抛光盘；液体供给装置，液体供给装置选择性地向抛光盘上表面供给液体；回收环，回收环可活动地环绕设置于抛光盘外周，回收环内设置有回收槽，回收槽与抛光盘的上表面相连通，液体供给装置与回收槽相连通。...
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