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接合方法、基板接合装置以及基板接合系统制造方法及图纸
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下载接合方法、基板接合装置以及基板接合系统的技术资料
文档序号:39288397
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接合方法包含:基板固持步骤,对基板(W1、W2)只固持周部,且在基板(W1)的接合面与基板(W2)的接合面彼此相对向的状态,固持基板(W1、W2);第1接触步骤,在使基板(W1)弯曲成(W1)的中央部对基板(W1)的周部朝向基板(W2)突出...
该专利属于邦德科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过邦德科技股份有限公司授权不得商用。
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