下载一种半导体板材加工定位机构的技术资料

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本实用新型涉及到一种半导体板材加工定位机构,包括晶圆载片台,所述晶圆载片台上设置有轴心孔,所述晶圆载片台上还设置有若干抵接环,若干所述抵接环同心设置,所述轴心孔设置在若干所述抵接环中心,所述抵接环凸起设置,相邻所述抵接环上之间形成缝隙;在晶...
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