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形成钨支柱的方法技术
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下载形成钨支柱的方法的技术资料
文档序号:39283040
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描述了形成自对准图案的方法。在图案化膜上沉积膜材料以填充和覆盖由所述图案化膜形成的特征。使所述膜材料凹入到低于所述图案化膜的顶部的水平。通过暴露于金属前驱物来将所述凹入膜转化为金属膜,接着所述金属膜体积膨胀。胀。胀。
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该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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