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本发明实施例公开了一种消除晶圆表面缺陷的方法、装置、介质及晶圆制造方法；该消除晶圆表面缺陷的方法包括：获取与直线型缺陷具有数量相关性的关联缺陷类型；从所述关联缺陷类型中确定所述直线型缺陷的成因缺陷；其中，所述成因缺陷为形成所述直线型缺陷的第...
该专利属于西安奕斯伟材料科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟材料科技股份有限公司授权不得商用。

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