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本申请公开一种碳化硅外延设备用旋转装置。该碳化硅外延设备用旋转装置包括：支撑筒，该支撑筒内设置有气动悬浮组件，该气动悬浮组件上设置有抽气环和定位环，该气动悬浮组件包括底座，该底座上设置有分气盘和旋转载盘，该旋转载盘朝向所述底座的一侧的周边设...
该专利属于芯三代半导体科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯三代半导体科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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