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本实用新型公开了一种抛光设备的抛头和抛光设备，抛光设备的抛头包括：安装板；抛头总成；气动控制组件，气动控制组件包括进气口、吸真空口、通大气口和出气口，进气口，吸真空口和通大气口中的一个选择性地与出气口选择性地相连通，出气口与抛头总成相连通。...
该专利属于铭扬半导体科技（合肥）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过铭扬半导体科技（合肥）有限公司授权不得商用。

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