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本实用新型公开了一种测试装置及测试系统。本实用新型的测试装置包括承片台、承载台、第一驱动机构和测试机构。其中，承片台用于承载晶圆并能移动。第一驱动机构包括驱动件。测试机构包括测试台和多个测试组，承载台设置有第一通孔，测试台对应于第一通孔，测...
该专利属于矽电半导体设备（深圳）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过矽电半导体设备（深圳）股份有限公司授权不得商用。

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