下载半导体结构的形成方法的技术资料

文档序号:39270905

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一种半导体结构的形成方法,包括:提供基底,所述基底包括第一区和第二区,第一区上和第二区上分别具有若干相互分立的初始复合结构,初始复合结构包括交替堆叠的若干初始牺牲层和若干初始沟道层;在第一区上的若干初始复合结构表面形成第一掺杂膜和第一隔离层...
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