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紫外线发光元件用外延片的制造方法、紫外线发光元件用基板的制造方法、紫外线发光元件用外延片及紫外线发光元件用基板技术
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文档序号:39261134
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本发明提供一种紫外线发光元件用外延片的制造方法,其具有:准备至少一个表面由氮化镓构成的支撑基板的工序;在所述支撑基板的由所述氮化镓构成的所述表面形成接合层的工序;在所述接合层上贴合由Al
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该专利属于信越半导体株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过信越半导体株式会社授权不得商用。
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