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编码器装置、驱动装置、载置台装置以及机器人装置制造方法及图纸
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文档序号:39258483
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本发明涉及编码器装置、驱动装置、载置台装置以及机器人装置。提供电池无需维护或者维护的频度低的编码器装置。编码器装置具备:位置检测系统;电信号发生部,由于移动部的移动,发生电信号;以及发光调整部,根据电信号,调整从发光部的光的照射,所述位置检...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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