下载一种改善刻蚀节点粗大的方法的技术资料

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本发明公开了一种改善刻蚀节点粗大的方法,该改善方法包括以下步骤,S1:设计;S2:选材;S3:覆膜:在黄光氛围下,以热压方式在超薄导电薄膜的导电层面,覆上一层厚度均一的光刻胶;S4:菲林制作;S5:曝光:将光刻胶覆盖的超薄导电薄膜放置在曝光...
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