下载具有检测及调整水平功能的键合机台的技术资料

文档序号:39255616

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本发明为一种具有检测及调整水平功能的键合机台,主要包括一第一腔体、一第二腔体、一压合单元、一载台、多个水平调整单元及多个伸缩式距离量测单元。第一腔体用以连接第二腔体,并在两者之间一密闭空间。压合单元设置在第一腔体内,而载台则设置在第二腔体内...
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