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本发明描述了在聚焦离子束装置上或包括聚焦离子束和扫描显微术能力两者的双束装置上的粒子诱导X射线发射(PIXE)的实际具体实施。因此，分析方法包括：将包括质子和非氢离子的混合物的离子引导到样本上，其中该混合物的离子的动能不大于50千电子伏特(...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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