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本发明提供一种绝缘体上硅衬底上单晶AlN薄膜及其制备方法,所述制备方法包括:提供一绝缘体上硅衬底,绝缘体上硅衬底包括位于顶层硅、埋氧层、背衬底中的任一者中或任意相邻两者之间的界面处的多个空腔;在第一生长温度下于顶层硅上外延生长AlN缓冲层;...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
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本发明提供一种绝缘体上硅衬底上单晶AlN薄膜及其制备方法,所述制备方法包括:提供一绝缘体上硅衬底,绝缘体上硅衬底包括位于顶层硅、埋氧层、背衬底中的任一者中或任意相邻两者之间的界面处的多个空腔;在第一生长温度下于顶层硅上外延生长AlN缓冲层;...