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一种可控容积式离子热处理装置制造方法及图纸
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下载一种可控容积式离子热处理装置的技术资料
文档序号:3924637
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本发明一种容积可控式离子热处理装置,包括炉罩、分装炉体、阴极盘。分装炉体上端和阴极盘上端均开有密封槽,阴极盘与分装炉体之间、分装炉体与分装炉体之间及分装炉体与炉罩之间均由密封圈连接,在各个分装炉体和炉罩上均有两个把手,通过把手可以方便的对分...
该专利属于窦百香;刘伟所有,仅供学习研究参考,未经过窦百香;刘伟授权不得商用。
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