下载一种晶圆温度确定方法及装置、存储介质及电子设备的技术资料

文档序号:39244901

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本发明提供一种晶圆温度确定方法及装置、存储介质或电子设备,包括:获取电力电子设备当前的电力参数和环境温度;基于电力参数和环境温度,确定电力电子设备的晶圆的稳态温度;获取晶圆的温度修正数据,基于温度修正数据,对稳态温度进行修正,得到晶圆的修正...
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