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描述了一种确定在带电粒子束系统中由具有给定数值孔径(NA)的聚焦透镜(120)聚焦到样品(10)的带电粒子束(11)的像差的方法。所述方法包括：(a.)至少基于给定数值孔径(NA)，针对一组束像差系数(C
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