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光学测量装置与测量方法制造方法及图纸
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文档序号:39239611
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本发明公开一种光学测量装置与测量方法,其中主要利用三个激光测量仪进行激光测量,先测量一样本板以定义各激光测量仪之间的关系,然后再测量待测板,可达到方便测量待测板的目的;此外,还可以影像测量进行辅助,影像测量以计算水平及垂直像素间距离的方式算...
该专利属于金溪惠亚科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过金溪惠亚科技有限公司授权不得商用。
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