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本实用新型公开了一种用于MPCVD设备进行金刚石生长的在线监控系统，其特征在于，包括位于反应腔室一侧的高清CCD摄像机和位于反应腔室另一侧的LED补光灯，所述反应腔室与高清CCD摄像机之间位置、反应腔室与LED补光灯之间位置中的至少一个位置...
该专利属于上海菱尚光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海菱尚光电科技有限公司授权不得商用。

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