【技术实现步骤摘要】
一种用于MPCVD设备进行金刚石生长的在线监控系统
[0001]本技术涉及培育金刚石
,特别涉及一种用于MPCVD设备进行金刚石生长的在线监控系统。
技术介绍
[0002]MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)设备由于它的微波能量没有污染,反应气体原料相对纯净,并且没有催化剂和杂质的掺入等一些压倒性的优势,因此MPCVD方法成为培育金刚石方法中很有发展前景的技术。其工作原理是通过微波源产生微波,经过波导和模式转换器耦合后进入反应腔内,在微波电磁场的作用下,反应气体被激发为等离子体状态,等离子体是部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。等离子体呈球状或椭球状形成于金刚石衬底上,利用等离子体的高温让衬底可以加热到一定的温度,离子化的气体就会在籽晶上面不断的进行一系列的物理化学反应并逐渐在籽晶表面发生吸附、脱附、迁移、扩散和沉积,金刚石便会慢慢长厚。
[0003]在MPCVD设备正常生产过程中,为了及时处理异常,需要掌握单晶金刚石的生长情况,一般是通过温度采集和图像采集来对金刚石的 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于MPCVD设备进行金刚石生长的在线监控系统,其特征在于,包括位于反应腔室一侧的高清CCD摄像机和位于反应腔室另一侧的LED补光灯,所述反应腔室与高清CCD摄像机之间位置、反应腔室与LED补光灯之间位置中的至少一个位置设置有一偏振镜。2.如权利要求1所述的一种用于MPCVD设备进行金刚石生长的在线监控系统,其特征在于,所述反应腔室与高清CCD摄像机之间位置设置有一偏振镜,该偏振镜起到检偏器的作用。3.如权利要求1所述的一种用于MPCVD设备进行金刚石生长的在线监控系统,其特征在于,所述反应腔室与LED补光灯之间位置设置有一偏振镜,该偏振镜起到起偏器的作用。4.如权利要求1所述的一种用于MPCVD设备进行金刚石生长的在线监控系统,其特征在于,所述反应腔室与高清CCD摄像机之间位置、反应腔室与LED补光灯之间位置均设置有一偏振镜,其中位于反应腔室与高清CCD摄像机之间的偏振镜起到检偏器的作用,反应腔室与LED补光灯之间位置的偏振镜起到起偏器的作用。5.如权利要求4所述的一种用于MPCVD设备进行金...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘瞻,
申请(专利权)人:上海菱尚光电科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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