下载用于等离子体发生器的屏蔽罩的技术资料

文档序号:39237543

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本实用新型公开了一种用于等离子体发生器的屏蔽罩。该屏蔽罩包括:后壳体,后壳体上开设有第一通孔和第一连接口,第一通孔用于设置循环水管道及气路管道,第一连接口用于设置感应线圈;下壳体,设置与后壳体的下侧边连接;下壳体上开设有第二通孔和第二连接口...
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