下载一种承片台及芯片检测机构的技术资料

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本实用新型公开一种承片台及芯片检测机构,其中,所述承片台具有一承载端面,用于贴附芯片载膜,所述承片台上开设有环槽,所述环槽沿所述承载端面的周沿环绕一周
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该专利属于矽电半导体设备(深圳)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过矽电半导体设备(深圳)股份有限公司授权不得商用。

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