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半导体器件的拍照系统及光学检测系统技术方案
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文档序号:39222004
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本实用新型提供了半导体器件的拍照系统及光学检测系统,涉及光学检测技术领域。半导体器件的拍照系统包括:为起伏表面拍照的侧拍模块;侧拍模块的焦平面,与起伏表面的至少部分区域的第一夹角,小于或等于15
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该专利属于泰州隆基乐叶光伏科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泰州隆基乐叶光伏科技有限公司授权不得商用。
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