半导体器件的拍照系统及光学检测系统技术方案

本实用新型专利技术提供了半导体器件的拍照系统及光学检测系统，涉及光学检测技术领域。半导体器件的拍照系统包括：为起伏表面拍照的侧拍模块；侧拍模块的焦平面，与起伏表面的至少部分区域的第一夹角，小于或等于15

【技术实现步骤摘要】
半导体器件的拍照系统及光学检测系统


[0001]本技术涉及光学检测
，特别是涉及半导体器件的拍照系统及光学检测系统。

技术介绍

[0002]半导体器件某侧表面的外观特征信息，例如颜色等，是对半导体进行性能评价的重要指标。
[0003]目前主要通过设置焦平面与半导体的该侧表面平行或重合的正拍模块，获取半导体器件该侧表面的外观特征。
[0004]然而，半导体的该侧表面凹凸不平的情况下，该正拍模块不能准确反映，和正拍模块的焦平面不平行或不重合的表面的外观特征信息，使得通过正拍模块得到的外观特征信息，进行性能评价不够准确。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种半导体器件的拍照系统及光学检测系统，旨在解决半导体的该侧表面凹凸不平的情况下，由正拍模块得到的外观特征信息，进行性能评价不够准确的问题。
[0006]本技术的第一方面，提供一种半导体器件的拍照系统，所述半导体器件包括：第一表面和位于所述第一表面上的起伏表面；所述第一表面为所述半导体器件的向光面，和/或，背光面；
[0007]所述半导体器件的拍照本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体器件的拍照系统，其特征在于，所述半导体器件包括：第一表面和位于所述第一表面上的起伏表面；所述第一表面为所述半导体器件的向光面，和/或，背光面；所述半导体器件的拍照系统包括：为所述起伏表面拍照的侧拍模块；所述侧拍模块的焦平面，与所述起伏表面的至少部分区域的第一夹角，小于或等于15
°
；以及光源模块，在所述侧拍模块为所述起伏表面拍照的过程中，所述光源模块向所述起伏表面提供光照，使得所述起伏表面显示有颜色。2.根据权利要求1所述的半导体器件的拍照系统，其特征在于，所述侧拍模块的焦平面，与所述起伏表面的至少部分区域平行，且所述第一表面的几何中心，落在所述侧拍模块的焦平面上。3.根据权利要求1所述的半导体器件的拍照系统，其特征在于，所述侧拍模块的焦平面可调节。4.根据权利要求1或3所述的半导体器件的拍照系统，其特征在于，还包括：折射模块，所述折射模块位于所述侧拍模块的镜头和所述起伏表面之间。5.根据权利要求1所述的半导体器件的拍照系统，其特征在于，所述半导体器件为太阳能电池，所述太阳能电池的第一表面上设置有陷光结构；所述起伏表面为所述陷光结构中与所述第一表面相接的表面。6.根据权利要求5所述的半导体器件的拍照系统，其特征在于，一个所述陷光结构包括：多个相交的起伏表面；所述半导体器件的拍照系统还包括：移动模块，所述侧拍模块安装在所述移动模块上；所述移动模块带动所...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙飞龙，卜涛，康冀恺，蒋仙，李华，
申请(专利权)人：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：