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本实用新型提供了一种硅片上料装置及硅片检测设备，包括第一输送机构、第二输送机构、第三输送机构、第四输送机构、分流搬运机构、汇流搬运机构及硅片上料机构，其中：第二输送机构、第二输送机构设置在第一输送机构和第四输送机构的两侧。上料机构为第一输送...
该专利属于无锡奥特维科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡奥特维科技股份有限公司授权不得商用。

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